air filter在微電子行業的重要性及應用
信息來源：//wl132.cn/ 發布時間：2013/9/30 10:33:59 點擊數：
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過濾器
相信很多(duo)的(de)電(dian)(dian)腦(nao)(nao)玩家(jia)都(dou)知道，電(dian)(dian)腦(nao)(nao)中每天都(dou)會進無數灰塵，影(ying)響電(dian)(dian)腦(nao)(nao)的(de)性能，有的(de)甚至(zhi)會堵塞散(san)熱(re)器，導致電(dian)(dian)腦(nao)(nao)的(de)溫度長(chang)時間不下降，所以(yi)(yi)現在(zai)很多(duo)人在(zai)想如果以(yi)(yi)后電(dian)(dian)腦(nao)(nao)中也裝(zhuang)上(shang)過濾除塵器就好(hao)了，專業人員(yuan)表示(shi)粘(zhan)在(zai)集(ji)成電(dian)(dian)路(lu)上(shang)的(de)粉(fen)塵可能造成斷路(lu)、短路(lu)，粉(fen)塵直接影(ying)響壽力(li)空壓機配(pei)件產品的(de)成品率。當今，半導體工業(芯(xin)片(pian)廠)對(dui)生產環境(jing)空氣潔(jie)凈(jing)程度高挑(tiao)剔(ti)，對(dui)air filter的(de)要求(qiu)也苛(ke)刻。
衡量芯片集成度的(de)(de)指標之一是(shi)“線(xian)寬”，即電(dian)路上(shang)導線(xian)的(de)(de)寬度。air filter在微電(dian)子(zi)行業的(de)(de)重要性及(ji)應用,在以(yi)微米計(ji)算線(xian)寬的(de)(de)年代，人們(men)說制(zhi)造環(huan)境對粉(fen)塵粒(li)(li)徑的(de)(de)限制(zhi)是(shi)小于線(xian)寬的(de)(de)1/10，隨著線(xian)寬不斷變(bian)小，1/10之說又變(bian)成了(le)(le)1/4、1/2。2002年，普通微機中P4處理器的(de)(de)線(xian)寬縮小到了(le)(le)0.13mm，此時任何粉(fen)塵都(dou)可能損(sun)害電(dian)路，粒(li)(li)徑與線(xian)寬的(de)(de)傳統(tong)比較已經過時了(le)(le),air filter在微電(dian)子(zi)行業的(de)(de)重要性及(ji)應用。
芯片(pian)廠(chang)傳統的(de)通風形式(shi)是“大循(xun)(xun)環”，車間的(de)整(zheng)個(ge)天花板上布滿(man)高(gao)效過濾(lv)器，整(zheng)個(ge)地面為(wei)回風柵板。air filter在(zai)微電子行(xing)業的(de)重要(yao)性及應用(yong),現(xian)在(zai)芯片(pian)廠(chang)有些車間使用(yong)自(zi)帶風機(ji)的(de)過濾(lv)裝置，即(ji)FFU。大循(xun)(xun)環和FFU兩種形式(shi)都(dou)能(neng)達到足夠的(de)潔(jie)凈(jing)度，只是在(zai)運(yun)行(xing)管理和能(neng)耗上有所差異。
air filter在(zai)微(wei)電子行業的重(zhong)要性及應用(yong)不論是普通(tong)高效過濾(lv)器還(huan)是FFU，出廠(chang)(chang)(chang)前(qian)都要經過逐臺掃描測試(shi)(shi)(shi)。國內(nei)目前(qian)沒有掃描測試(shi)(shi)(shi)方法標(biao)準，能擠進芯片廠(chang)(chang)(chang)的過濾(lv)器廠(chang)(chang)(chang)家是按(an)歐美標(biao)準對(dui)過濾(lv)器進行掃描測試(shi)(shi)(shi)的。芯片廠(chang)(chang)(chang)的人認(ren)為，過濾(lv)器傳統檢驗方法用(yong)的試(shi)(shi)(shi)驗粉塵本身(shen)就是污染源，所(suo)以芯片廠(chang)(chang)(chang)不買鈉焰法和DOP法的帳(zhang)。
空(kong)氣中的(de)(de)(de)海鹽(yan)粒子(zi)是(shi)(shi)所有電子(zi)工業的(de)(de)(de)大(da)(da)敵，但(dan)空(kong)氣中海鹽(yan)粉(fen)塵的(de)(de)(de)顆粒比較大(da)(da)，普通過(guo)濾器(qi)就(jiu)能將其過(guo)濾掉(diao)。有人說搞電子(zi)工業的(de)(de)(de)理想地點應該遠離(li)海岸(an)，可沿(yan)海地區經濟(ji)發達，芯片廠一窩(wo)蜂(feng)似的(de)(de)(de)就(jiu)建在了沿(yan)海地區，在過(guo)濾器(qi)上多花點錢就(jiu)是(shi)(shi)了。
看完以上(shang)的信息，大家(jia)對于(yu)air filter在(zai)微(wei)電子(zi)的重要性(xing)及應(ying)用都了解吧(ba)，值得一(yi)提(ti)的是(shi)在(zai)現在(zai)大部分過(guo)濾(lv)器(qi)(qi)仍使用玻璃纖維濾(lv)紙。過(guo)濾(lv)器(qi)(qi)上(shang)可能(neng)的微(wei)量揮(hui)發元(yuan)素主要來源于(yu)粘結劑和清(qing)洗(xi)劑，為芯片廠供貨的過(guo)濾(lv)器(qi)(qi)廠商(shang)要在(zai)這(zhe)上(shang)面下些功夫。
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