半導體廠用空氣過濾器的要求十分苛刻
信息來源://wl132.cn/ 發布時間:2013/11/20 9:26:13 點擊數:
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空氣過濾設備
國內正處于(yu)對新一輪(lun)芯片廠建設的狂熱中,因此,預計(ji)在未(wei)來幾年,將需要數億元的高效(xiao)過濾器(qi)和(he)精密過濾器(qi)。而半(ban)導(dao)體廠對于(yu)生產環(huan)境(jing)空氣(qi)(qi)的潔(jie)凈度是十(shi)分(fen)挑剔的,因此對于(yu)空氣(qi)(qi)過濾器(qi)的要求也是十(shi)分(fen)苛(ke)刻。
對于(yu)所有(you)電子工業(ye)來說,它們大(da)的敵人就是(shi)空(kong)氣中的海鹽粒子。如(ru)果(guo)空(kong)氣中的海鹽顆粒較(jiao)大(da),那(nei)么普通(tong)的過濾器就能(neng)將其過濾掉,但(dan)是(shi)如(ru)果(guo)是(shi)顆粒較(jiao)小的呢?又該怎(zen)么辦?有(you)人說經營電子工業(ye),首先就需(xu)要遠離海岸,可沿(yan)海地(di)區(qu)經濟發達,芯片廠一窩蜂似的就建在了沿(yan)海地(di)區(qu),在過濾器上多花點錢(qian)就是(shi)了。
活性(xing)炭過濾(lv)器(qi)的(de)(de)過濾(lv)等級技術能夠將潔凈(jing)室(shi)的(de)(de)粉塵(chen)濃度降到近(jin)乎為零,想要(yao)多(duo)干凈(jing)就能多(duo)干凈(jing),當芯片上的(de)(de)線寬(kuan)小到0.5mm時,人們(men)發現空(kong)氣中的(de)(de)化學污染物成了影響成品率的(de)(de)主(zhu)要(yao)危(wei)害,于是(shi)(shi)(shi),在(zai)線寬(kuan)小于0.5mm的(de)(de)芯片廠(chang)(chang)空(kong)調系統中普遍配(pei)置了精密空(kong)氣過濾(lv)器(qi)。精密空(kong)氣過濾(lv)器(qi)的(de)(de)工作原理和制作過程并不(bu)復雜,它(ta)就是(shi)(shi)(shi)活性(xing)炭過濾(lv)器(qi),但是(shi)(shi)(shi)傳統的(de)(de)活性(xing)炭過濾(lv)器(qi)制造(zao)廠(chang)(chang)并沒有運用上這(zhe)一優(you)勢,芯片廠(chang)(chang)的(de)(de)活性(xing)炭過濾(lv)器(qi)大都是(shi)(shi)(shi)空(kong)調過濾(lv)器(qi)的(de)(de)制造(zao)廠(chang)(chang)家提(ti)供的(de)(de)。
在生活(huo)中,化(hua)(hua)(hua)(hua)學污染一(yi)般(ban)都(dou)來源于(yu):室(shi)外的(de)(de)(de)空(kong)氣、裝修材(cai)(cai)料(liao)、人等。但(dan)是(shi)(shi)(shi)在一(yi)般(ban)情況(kuang)下(xia),即使(shi)是(shi)(shi)(shi)設計師,也說不出污染物的(de)(de)(de)種(zhong)類和(he)濃度(du)。因此,提供給他們的(de)(de)(de)化(hua)(hua)(hua)(hua)學過濾(lv)器(qi)至少需要(yao)具(ju)備兩個(ge)特(te)點:一(yi)是(shi)(shi)(shi)具(ju)有(you)(you)(you)廣譜吸(xi)(xi)附(fu)性(xing)(xing)(xing)能(neng);二是(shi)(shi)(shi)有(you)(you)(you)足夠多(duo)的(de)(de)(de)活(huo)性(xing)(xing)(xing)炭材(cai)(cai)料(liao)。廣譜吸(xi)(xi)附(fu)性(xing)(xing)(xing)能(neng)就(jiu)是(shi)(shi)(shi)對于(yu)什么都(dou)能(neng)有(you)(you)(you)吸(xi)(xi)附(fu)性(xing)(xing)(xing),而能(neng)有(you)(you)(you)這(zhe)種(zhong)功(gong)能(neng)的(de)(de)(de)都(dou)是(shi)(shi)(shi)普通、便宜的(de)(de)(de)顆粒活(huo)性(xing)(xing)(xing)炭。如果能(neng)確(que)定污染物種(zhong)類,就(jiu)可(ke)以對活(huo)性(xing)(xing)(xing)炭材(cai)(cai)料(liao)進行有(you)(you)(you)針對性(xing)(xing)(xing)的(de)(de)(de)化(hua)(hua)(hua)(hua)學處理,以增(zeng)強對特(te)定污染物的(de)(de)(de)吸(xi)(xi)附(fu)能(neng)力(li)。過濾(lv)器(qi)的(de)(de)(de)供應(ying)商(shang)有(you)(you)(you)時(shi)還需要(yao)提供相應(ying)的(de)(de)(de)市場檢測服(fu)務,來幫助用(yong)戶確(que)定過濾(lv)器(qi)的(de)(de)(de)使(shi)用(yong)情況(kuang),這(zhe)就(jiu)要(yao)求供應(ying)商(shang)中有(you)(you)(you)專門致(zhi)力(li)于(yu)研究化(hua)(hua)(hua)(hua)學過濾(lv)的(de)(de)(de)專揀,并與名(ming)氣大的(de)(de)(de)化(hua)(hua)(hua)(hua)學實驗室(shi)有(you)(you)(you)密切的(de)(de)(de)關系。
半(ban)導體(ti)廠對于環境的(de)潔凈度十分挑剔,但這(zhe)并不(bu)意味著它就是的(de)“無煙(yan)工(gong)業”,它也有環境的(de)問(wen)題。因為經(jing)常會使用的(de)工(gong)藝(yi)和(he)材(cai)料,因此很(hen)多化學(xue)(xue)物品其(qi)實在沒有評(ping)估安全性之前,其(qi)實就已經(jing)開始在大(da)量的(de)使用了(le),一不(bu)小心就會造成嚴重的(de)化學(xue)(xue)污(wu)染(ran),既有地(di)下水污(wu)染(ran),也有空氣污(wu)染(ran)。
空(kong)氣過濾(lv)器不光在(zai)醫(yi)藥行業(ye)被(bei)的應用,它同時也(ye)在(zai)電子行業(ye)被(bei)的應用,就像半(ban)導體廠一(yi)樣。既會有地下水污(wu)染(ran)(ran),也(ye)會存在(zai)空(kong)氣污(wu)染(ran)(ran),所(suo)以(yi)空(kong)氣過濾(lv)器就是(shi)必不可(ke)少的了。