芯片廠專用空氣過濾器提高生產質量
信息來源：//wl132.cn/ 發布時間：2013/11/22 9:51:50 點擊數：
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空氣過濾設備
當今(jin)，半導體(ti)芯(xin)片廠對生產環境(jing)空氣潔凈程(cheng)度挑剔，對空氣過濾器的要求也苛刻，粘在芯(xin)片上(shang)的粉塵可能造成(cheng)斷路(lu)、短(duan)路(lu)而直接影響成(cheng)品率。
衡量(liang)芯片集成工的(de)(de)指(zhi)標之一是“線(xian)(xian)寬(kuan)”，即(ji)集成電(dian)路上導線(xian)(xian)的(de)(de)寬(kuan)度。在線(xian)(xian)寬(kuan)以微米計(ji)的(de)(de)年代，制造(zao)環境對粉塵粒(li)徑的(de)(de)限制是小于線(xian)(xian)寬(kuan)的(de)(de)1/10，隨著線(xian)(xian)寬(kuan)不(bu)斷變(bian)小，1/10之說又變(bian)成1/4、1/2.2002年，普通微機中P4處(chu)理器的(de)(de)線(xian)(xian)寬(kuan)縮小到了(le)0.13μm,此時(shi)任何粉塵都可(ke)能(neng)損害電(dian)路，粒(li)徑與(yu)線(xian)(xian)寬(kuan)的(de)(de)傳(chuan)統(tong)比(bi)較過時(shi)了(le)
芯片(pian)廠傳統的(de)通(tong)風形(xing)式(shi)是“大循環”，車間的(de)整個天(tian)花板(ban)(ban)上布滿(man)無隔板(ban)(ban)高(gao)效過(guo)濾器(qi)(qi)，整個地面為回(hui)風柵板(ban)(ban)。現(xian)在芯片(pian)廠有些車間使(shi)用自帶風機的(de)高(gao)效過(guo)濾器(qi)(qi)裝置(zhi)。大循環和FFU兩種(zhong)形(xing)式(shi)都能(neng)達到足夠的(de)潔凈度，只是在運行(xing)管理(li)和能(neng)耗(hao)上有所差異。
能擠進芯(xin)(xin)片廠的高效(xiao)過濾(lv)器和FFU都要(yao)經過逐臺掃描測試(shi)，芯(xin)(xin)片廠以為，傳(chuan)統的檢驗(yan)方法(fa)用的試(shi)驗(yan)粉塵(chen)本身就是(shi)污染源，所以芯(xin)(xin)片廠不買鈉(na)焰和DOP法(fa)的賬。
空氣(qi)中(zhong)的(de)海(hai)(hai)鹽粒子(zi)是所(suo)有(you)電(dian)子(zi)工(gong)業的(de)大(da)敵，但海(hai)(hai)鹽粉塵的(de)顆粒比較大(da)，普通過濾器就(jiu)能將其(qi)除去。有(you)人(ren)說(shuo)電(dian)子(zi)工(gong)業的(de)理想地(di)點應該遠離海(hai)(hai)岸，可國(guo)內芯片廠就(jiu)建在(zai)了經濟發達的(de)沿海(hai)(hai)地(di)區，在(zai)空氣(qi)過濾器上多花點錢就(jiu)是了。
芯片(pian)廠(chang)特別在意過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)上可能(neng)的微量揮(hui)(hui)發(fa)(fa)元素。近幾年出現了(le)聚四氟乙烯PTFE纖(xian)維高(gao)(gao)效(xiao)過(guo)(guo)濾(lv)材(cai)料(liao)，這種材(cai)料(liao)沒有揮(hui)(hui)發(fa)(fa)物(wu)，但(dan)它帶靜電(dian)，過(guo)(guo)濾(lv)后的空(kong)氣要進行(xing)電(dian)中和以控制空(kong)氣中的離(li)子，少了(le)個(ge)隱(yin)患(huan)，多了(le)個(ge)麻煩。目前(qian)PTEF高(gao)(gao)效(xiao)濾(lv)材(cai)的價格偏高(gao)(gao)，絕大部分高(gao)(gao)效(xiao)過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)仍使用傳統的玻(bo)纖(xian)濾(lv)紙。高(gao)(gao)效(xiao)過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)上可能(neng)的揮(hui)(hui)發(fa)(fa)物(wu)主要源于制造過(guo)(guo)程(cheng)的粘結劑、清洗劑、試驗粉塵、輔助材(cai)料(liao)，為芯片(pian)廠(chang)供貨(huo)的空(kong)氣過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)廠(chang)商(shang)要在避免微量揮(hui)(hui)發(fa)(fa)物(wu)上下(xia)些功夫。
但當芯片的(de)線寬小到0.5μm時，人(ren)們發(fa)現空(kong)氣中的(de)化(hua)學污染物成了影響成品率的(de)主要危害，于是(shi)，后建的(de)芯片廠(chang)空(kong)調系統中普遍配置了化(hua)學過(guo)濾器。芯片廠(chang)說的(de)化(hua)學過(guo)濾器就是(shi)活性炭過(guo)濾器，它(ta)的(de)原(yuan)理和制(zhi)造工(gong)藝并不(bu)復(fu)雜(za)。
化學污染(ran)(ran)物(wu)的(de)來源有(you)：室外空氣、工藝本身(shen)、人(ren)、裝修材料。多數情況下(xia)，設計(ji)師和現場人(ren)員也(ye)說不(bu)清污染(ran)(ran)物(wu)的(de)種類和濃(nong)度，因此，芯片廠用的(de)化學過(guo)濾器(qi)應具(ju)有(you)兩個特(te)點(dian)：廣譜(pu)吸(xi)附性(xing)能(neng)、足夠(gou)多的(de)活性(xing)炭材料。所謂(wei)廣譜(pu)吸(xi)附就(jiu)是對(dui)(dui)(dui)什么都能(neng)多少吸(xi)附些，能(neng)有(you)這種功能(neng)的(de)就(jiu)是傳統的(de)、便宜的(de)，微孔尺(chi)寸(cun)大(da)小不(bu)均的(de)顆粒活性(xing)炭。如果能(neng)確定染(ran)(ran)污物(wu)種類，就(jiu)可對(dui)(dui)(dui)吸(xi)附材料進行有(you)針對(dui)(dui)(dui)性(xing)的(de)化學處理，以(yi)增強對(dui)(dui)(dui)物(wu)定污染(ran)(ran)物(wu)的(de)吸(xi)附能(neng)力(li)。
過濾(lv)器(qi)供(gong)應商(shang)(shang)有(you)時還要提(ti)供(gong)相應的(de)(de)現場檢測(ce)服務，以幫(bang)助用戶確定化(hua)學(xue)過濾(lv)器(qi)的(de)(de)使(shi)用情況，這就要求(qiu)供(gong)應商(shang)(shang)中有(you)搞化(hua)學(xue)過濾(lv)的(de)(de)有(you)經(jing)驗的(de)(de)人，并與權威實驗室的(de)(de)密(mi)切的(de)(de)關系。遺憾的(de)(de)是國內過濾(lv)器(qi)廠商(shang)(shang)沒(mei)有(you)幾家(jia)在那上面下功夫，所以國內芯片廠目前使(shi)用的(de)(de)化(hua)學(xue)過濾(lv)器(qi)多(duo)數是進口(kou)產(chan)品(pin)。
半導體工(gong)(gong)業并非(fei)“無煙工(gong)(gong)業”，它(ta)也(ye)有(you)環境問題。那里(li)經常(chang)采用(yong)(yong)的(de)工(gong)(gong)藝(yi)和材(cai)料(liao)，有(you)些(xie)化學物品在其安全性(xing)尚未得到(dao)評估前就已(yi)經大量(liang)使(shi)(shi)用(yong)(yong)了(le)。為降低環境風險，有(you)些(xie)芯片(pian)廠的(de)排(pai)風系統(tong)也(ye)裝(zhuang)有(you)化學過(guo)濾器(qi)(qi)。由此(ci)可(ke)見，使(shi)(shi)用(yong)(yong)空氣過(guo)濾器(qi)(qi)是(shi)必要的(de)，那么(me)今天(tian)我(wo)們主要給大家講解了(le)關于芯片(pian)廠不使(shi)(shi)用(yong)(yong)空氣過(guo)濾器(qi)(qi)的(de)壞處以及使(shi)(shi)用(yong)(yong)空氣過(guo)濾器(qi)(qi)的(de)好處，大家可(ke)以詳細了(le)解下。