大家知道影響層流罩的幾個因素嗎?
信息來源://wl132.cn/ 發布時間:2013/12/13 9:12:56 點擊數:
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過濾器產品
層流罩是由空(kong)調箱經(jing)風(feng)管與(yu)潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)內之空(kong)氣(qi)空(kong)氣(qi)過濾器進入潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi),并(bing)由潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)兩側隔間墻板(ban)或高(gao)架地(di)板(ban)回風(feng),氣(qi)流非直線型運動(dong)而呈不劃定禮(li)貌之亂(luan)流或渦流狀(zhuang)況,此型式(shi)合用于潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)等級(ji)1,000-100,000級(ji)。
層(ceng)流罩(zhao)的優(you)點是(shi)什么(me)呢?主(zhu)要是(shi)其結構簡單、系(xi)統建造(zao)成本,潔凈室(shi)之(zhi)擴展比(bi)較輕易,在某些非(fei)凡用處場合,可并用無塵(chen)工作臺(tai),提高潔凈室(shi)等級。而且層(ceng)流罩(zhao)分為兩種(zhong)形(xing)式,分別是(shi):層(ceng)流式、復合式。
[一(yi)]層流式:
層流式(shi)空(kong)氣(qi)氣(qi)流運(yun)動成(cheng)一(yi)平均(jun)之直線形,空(kong)氣(qi)由袒護率100%之空(kong)氣(qi)過濾(lv)器進入室內,并由高(gao)架(jia)地板或兩側隔墻板回風,此型式(shi)合用(yong)(yong)于潔凈室等級(ji)需定較高(gao)之情況(kuang)運(yun)用(yong)(yong),通俗其潔凈室等級(ji)為Class1~100。其型式(shi)可分(fen)為二(er)種:
(1)水平層流(liu)式(shi):水平式(shi)空(kong)氣(qi)(qi)自空(kong)氣(qi)(qi)過濾器(qi)單(dan)傾向吹出,由對邊墻壁之(zhi)回風(feng)系(xi)統回風(feng),塵埃隨風(feng)向排(pai)出室(shi)外,通(tong)俗在輕賤側污染較(jiao)嚴(yan)重,結(jie)構簡單(dan),運轉后短時候內即可變成(cheng)穩定。
(2)垂直層流式(shi):房間天花板完整以ULPA空氣過濾器袒護(hu),空氣由上往下吹,可得較高(gao)之潔凈度,在制程中或(huo)工(gong)(gong)作人員(yuan)所(suo)發生的塵埃可快速排出室(shi)外(wai)而不會影響(xiang)其它工(gong)(gong)作區域。治理輕易,運轉劈頭短(duan)時候內即可達穩定狀況(kuang),不易為功課(ke)狀況(kuang)或(huo)功課(ke)人員(yuan)所(suo)影響(xiang)。
[二]復合式
復合(he)式為將亂流(liu)式及層流(liu)式予以復合(he)或并(bing)用,可供(gong)應部分(fen)超潔凈之空氣。
(1)潔凈地道(CleanTunnel):以(yi)(yi)HEPA或ULPA空氣過濾器將制程區域(yu)或工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)區域(yu)100%袒護(hu)使潔凈度等(deng)級提高至10級以(yi)(yi)上(shang),可儉省裝(zhuang)置(zhi)運轉(zhuan)費用。此型式需將功課人員之工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)區與產(chan)品和機械(xie)維(wei)修(xiu)予以(yi)(yi)隔離(li),以(yi)(yi)避免機械(xie)維(wei)修(xiu)時影響了工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)及質量,ULSI制程大都(dou)采用此種型式。
(2)并裝部分潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)(CleanSpot):將潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)等級10,000~100,000之(zhi)亂流潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)內(nei)之(zhi)產品制(zhi)程(cheng)區的潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)度等級提高為10~1000級以上,認為消(xiao)費之(zhi)用;潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)工作臺、潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)工作棚(peng)、潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)風(feng)柜即屬此類(lei)。
(3)潔(jie)凈(jing)管(guan)道(dao)(CleanTube):將(jiang)產品流程經由的主動(dong)消費線(xian)圍困并凈(jing)化措(cuo)置(zhi),將(jiang)潔(jie)凈(jing)度等級提(ti)至100級以上。因(yin)產品和(he)功(gong)課(ke)員及發(fa)塵情況相互隔(ge)離,少(shao)量之送風即可獲得(de)優越之潔(jie)凈(jing)度,可儉(jian)省能源(yuan),不需(xu)人工的主動(dong)化消費線(xian)為適合運用(yong)。藥(yao)品、食物業界(jie)及半導(dao)體業界(jie)均合用(yong)。
潔(jie)凈工作棚:為(wei)在亂流式之潔(jie)凈室(shi)空(kong)(kong)間(jian)內以防靜電之透明塑料(liao)布圍成一(yi)小空(kong)(kong)間(jian),采用自(zi)力之HEPA或ULPA及空(kong)(kong)調送(song)風機組而成為(wei)一(yi)較有(you)經驗的之潔(jie)凈空(kong)(kong)間(jian),其等(deng)級(ji)(ji)為(wei)10~1000級(ji)(ji),高度在2.5米閣下(xia),袒(tan)護(hu)面積約(yue)10m2以下(xia),四支支柱并加裝(zhuang)運動輪,可為(wei)彈性運用。
一(yi)(yi)體(ti)化(hua)高(gao)(gao)(gao)(gao)效(xiao)(xiao)送(song)(song)(song)(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)口(kou)(kou)可(ke)棄(qi)(qi)式(shi)一(yi)(yi)體(ti)化(hua)高(gao)(gao)(gao)(gao)效(xiao)(xiao)送(song)(song)(song)(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)口(kou)(kou)是作為空調過(guo)濾系統的終端(duan)過(guo)濾設備(bei),可(ke)棄(qi)(qi)式(shi)一(yi)(yi)體(ti)化(hua)高(gao)(gao)(gao)(gao)效(xiao)(xiao)送(song)(song)(song)(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)口(kou)(kou)以(yi)150鋁型材或(huo)冷軋鋼板表面噴(pen)塑處理作箱體(ti),可(ke)棄(qi)(qi)式(shi)一(yi)(yi)體(ti)化(hua)高(gao)(gao)(gao)(gao)效(xiao)(xiao)送(song)(song)(song)(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)口(kou)(kou)內(nei)部集成密(mi)褶型無(wu)(wu)隔(ge)板高(gao)(gao)(gao)(gao)效(xiao)(xiao)濾芯, 出風(feng)(feng)(feng)(feng)面加(jia)(jia)護網,四周(zhou)聚氨酯膠(jiao)密(mi)封,可(ke)棄(qi)(qi)式(shi)一(yi)(yi)體(ti)化(hua)高(gao)(gao)(gao)(gao)效(xiao)(xiao)送(song)(song)(song)(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)口(kou)(kou)外加(jia)(jia)鍍鋅板或(huo)鋁板后蓋(gai)帶(dai)風(feng)(feng)(feng)(feng)管連接法蘭(lan)而(er)成,可(ke)棄(qi)(qi)式(shi)一(yi)(yi)體(ti)化(hua)高(gao)(gao)(gao)(gao)效(xiao)(xiao)送(song)(song)(song)(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)口(kou)(kou)箱體(ti)外圍可(ke)根據(ju)客戶需要加(jia)(jia)貼(tie)保(bao)溫(wen)棉。可(ke)棄(qi)(qi)式(shi)一(yi)(yi)體(ti)化(hua)高(gao)(gao)(gao)(gao)效(xiao)(xiao)送(song)(song)(song)(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)口(kou)(kou)它效(xiao)(xiao)率高(gao)(gao)(gao)(gao)、安裝方(fang)便,通風(feng)(feng)(feng)(feng)量大。高(gao)(gao)(gao)(gao)效(xiao)(xiao)送(song)(song)(song)(song)風(feng)(feng)(feng)(feng)口(kou)(kou)-無(wu)(wu)塵(chen)室專用凈化(hua)設備(bei)。
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