半導體工業空氣過濾器的必要性
信息來源：//wl132.cn/ 發布時間：2014/2/2 11:08:04 點擊數：
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過濾器
當今，半導體廠對生產環境潔凈程度非常挑剔，對空氣過濾器的要求也越來越苛刻，而在半導體廠，半導體廠用空氣過濾器起著非常重要的作用，是不可缺少的，下面我們就一(yi)起來了解一(yi)下。
空(kong)氣中(zhong)海(hai)鹽(yan)(yan)粒(li)(li)子(zi)是所有電子(zi)工業(ye)的(de)大(da)敵(di)，但空(kong)氣中(zhong)海(hai)鹽(yan)(yan)粉塵顆粒(li)(li)比較(jiao)大(da)，普通過濾器就能將其過濾掉(diao)。有人(ren)說搞電子(zi)工業(ye)理(li)想地點應(ying)該遠(yuan)離海(hai)岸，可沿(yan)海(hai)地區經濟發達，芯片廠一(yi)窩蜂似的(de)就建(jian)在了(le)沿(yan)海(hai)地區，在過濾器上多花點錢就是了(le)。
活(huo)性(xing)炭過(guo)(guo)濾(lv)(lv)器(qi)過(guo)(guo)濾(lv)(lv)等級技術可以將潔凈(jing)室的粉塵濃度降(jiang)到近乎為零(ling)，你想(xiang)要多干凈(jing)都(dou)能達到。當芯(xin)片上的線(xian)寬小(xiao)到0.5mm時，人們(men)發現空(kong)氣中(zhong)的化學污染物(wu)成了(le)影響成品率(lv)的主要危害，于是(shi)，在(zai)線(xian)寬小(xiao)于0.5mm的芯(xin)片廠(chang)空(kong)調(diao)系統中(zhong)普遍配置了(le)精密空(kong)氣過(guo)(guo)濾(lv)(lv)器(qi)。精密空(kong)氣過(guo)(guo)濾(lv)(lv)器(qi)的原理(li)和制造(zao)工(gong)藝并(bing)不復(fu)雜，它就是(shi)活(huo)性(xing)炭過(guo)(guo)濾(lv)(lv)器(qi)，但傳(chuan)統的活(huo)性(xing)炭過(guo)(guo)濾(lv)(lv)器(qi)制造(zao)廠(chang)和軍(jun)工(gong)廠(chang)沒(mei)有(you)搭上芯(xin)片廠(chang)這班車，芯(xin)片廠(chang)的深圳(zhen)活(huo)性(xing)炭過(guo)(guo)濾(lv)(lv)器(qi)大都(dou)是(shi)空(kong)調(diao)過(guo)(guo)濾(lv)(lv)器(qi)的制造(zao)廠(chang)家提供的。
化(hua)學污染(ran)物的(de)來源可(ke)能(neng)是：室外(wai)空氣、工(gong)藝本身、人、裝修材料(liao)(liao)。多數情(qing)況下，設(she)計師和現場人員也說不清污染(ran)物的(de)種類(lei)和濃度，因此，為他們提供(gong)的(de)化(hua)學過濾器(qi)至少應(ying)具(ju)有(you)(you)(you)兩個特點：廣譜吸附(fu)性(xing)(xing)能(neng)、足夠多的(de)活性(xing)(xing)炭(tan)材料(liao)(liao)。所謂廣譜吸附(fu)就是對(dui)(dui)什么(me)都能(neng)多少吸附(fu)些(xie)，能(neng)有(you)(you)(you)這種功能(neng)的(de)就是普通、便宜(yi)的(de)顆(ke)粒活性(xing)(xing)炭(tan)。如果能(neng)確(que)定污染(ran)物種類(lei)，就可(ke)以(yi)對(dui)(dui)活性(xing)(xing)炭(tan)材料(liao)(liao)進(jin)行有(you)(you)(you)針(zhen)對(dui)(dui)性(xing)(xing)的(de)化(hua)學處(chu)理，以(yi)增強對(dui)(dui)特定污染(ran)物的(de)吸附(fu)能(neng)力。過濾器(qi)供(gong)應(ying)商(shang)有(you)(you)(you)時還(huan)要提供(gong)相應(ying)的(de)現場檢測服務(wu)，以(yi)幫助用(yong)戶確(que)定反(fan)滲透過濾器(qi)的(de)使用(yong)情(qing)況，這就要求供(gong)應(ying)商(shang)中有(you)(you)(you)搞化(hua)學過濾的(de)有(you)(you)(you)經驗的(de)人，并與名氣大的(de)化(hua)學實驗室有(you)(you)(you)密切的(de)關系。
半導體工業并不是(shi)人們普(pu)遍認為的“無煙工業”，也就是(shi)說(shuo)它也是(shi)有環境(jing)問題(ti)的，稍不小(xiao)心(xin)就會(hui)(hui)造(zao)成嚴重的化學污染。因此(ci)，為了保險(xian)起見，半導體廠一般都會(hui)(hui)使用空氣過濾(lv)器。
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